유량제어 (Flow Control)

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제품목록

  • HFC-303

    높은 정확도의 대유량 MFC
    유량범위 : 100SLM ~ 1000SLM
  • MS2800VA (MFM)

    Range: 2500slpm~5000slpm, Accuracy: ±2% of FS
  • AFC770

    Full Scale Ranges : 51 SLM~ 500 SLM
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