유량제어 (Flow Control)

제품목록

  • 5100 시리즈

    고품질 메탈 씰 MFC
    유량범위:1SCCM~20SLM
  • MFM 3760 시리즈

    유량범위: 1SCCM~100SLM (임의로 선택), 재현성:± 0.5% FS (20 ℃) ​
  • HFM-301

    대유량 정밀 측정 MFM
    유량범위 : 100SLM ~ 1000SLM
  • HFC-303

    높은 정확도의 대유량 MFC
    유량범위 : 100SLM ~ 1000SLM
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