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압력제어 (Pressure Control)
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가스별 데이터 표입니다. 참고하시기 바랍니다.
아래 표는 참고용이며, 더 자세한 정보는 당사로 문의해주시기 바랍니다.
[참고] 독 : 독성가스, 가 : 가연성가스, 지 : 지연성가스, 혼 : 혼합가스, 특 : 7종류 특수 고압가스, 부 : 부식성
|
가스명 |
화학식 |
분자량 |
성질 |
증기압 |
실린더 (MPa) |
봄베 부착 커넥터 |
||
|
KS(한국) |
JIS(일본) |
CGA(미국) |
||||||
|
아세틸렌 |
C2H2 |
26.04 |
가 |
|
4 |
CGA510 |
아세틸렌용 특수GUT |
CGA510 |
|
공기 |
Air |
28.96 |
|
25 |
W22-14RH |
W22-14-OR |
CGA590 |
|
|
암모니아 |
NH3 |
17.03 |
독/가/부 |
0.85 |
2.5 |
W22-14LH |
W22-14-OR |
CGA660 |
|
아르곤 |
Ar |
39.95 |
|
25 |
W22-14RH |
W22-14-OR |
CGA580 |
|
|
아르신 |
AsH3 |
77.95 |
독/가/특 |
1.5 |
25 |
CGA350 |
(혼) W22-14-OL |
CGA350 |
|
삼플루오르화붕소 |
BF3 |
67.81 |
독 |
50mmHg |
0.1 |
CGA330 |
|
CGA330 |
|
1.3.부타디엔 |
1.3.C4H6 |
54.09 |
가 |
0.24 |
1 |
CGA510 |
W22.5-14-IL |
CGA510 |
|
부탄 |
C4H10 |
58.12 |
가 |
0.3 |
0.6 |
CGA510 |
W22.5-14-IL |
CGA510 |
|
이산화탄소 |
CO2 |
44.01 |
5.65 |
25 |
W22-14RH |
의료용W27R |
CGA320 |
|
|
일산화탄소 |
CO |
28.01 |
독/가 |
|
25 |
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA350 |
|
염소 |
CI2 |
70.91 |
독/지 |
0.67 |
2 |
W22-14RH |
W26-14-OR |
CGA660 |
|
디클로로실란 |
SiH2Cℓ2 |
101.01 |
독/가 |
0.17 |
0.6 |
W22-14LH |
|
CGA678 |
|
디보란 |
B2H6 |
27.67 |
독/가/지/혼/특 |
|
25 |
W22-14LH |
(혼) W22-14-OL |
CGA350 |
|
에탄 |
C2H6 |
30.07 |
독/가 |
3.73 |
10 |
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA350 |
|
에틸렌 |
C2H4 |
28.05 |
가 |
|
|
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA350 |
|
산화에틸렌 |
C2H4O |
44.05 |
독 |
1040mmHg |
0.6 |
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA510 |
|
사불화탄소 |
CF4 |
88.01 |
|
|
|
W22-14RH |
W26-14-OR |
CGA580 |
|
프레온22 |
CHClF2 |
86.48 |
|
약 0.95 |
2.5 |
|
|
CGA660 |
|
프레온114 |
C2Cℓ2F4 |
170.93 |
|
약 0.19 |
0.6 |
|
|
CGA660 |
|
헬륨 |
He |
4.00 |
|
|
25 |
W22-14RH |
W21-14-OL |
CGA580 |
|
수소 |
H2 |
2.01 |
가 |
|
25 |
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA350 |
|
염화수소 |
HCl |
36.46 |
독/부 |
4.15 |
10 |
W26-14RH |
W26-14-OR |
CGA330 |
|
셀렌화수소 |
H2Se |
80.98 |
독/가/특 |
|
(혼) W22-14-OL |
CGA660 |
||
|
황화수소 |
H2S |
34.08 |
독/가 |
1.77 |
6 |
W26-14-OR |
CGA330 |
|
|
이소부탄 |
iso-C4H10 |
58.12 |
가 |
|
|
W22.5-14-IL |
CGA510 |
|
|
메탄 |
CH4 |
16.04 |
가 |
|
|
W22-14LH |
W22-14-OL |
CGA350 |
|
일산화질소 |
NO |
30.01 |
독 |
|
6 |
W22-14-OR |
W22-14-OR |
CGA660 |
|
이산화질소 |
NO2 |
46.01 |
독/지 |
|
25 |
W22-14-OR |
W22-14-OR |
CGA660 |
|
질소 |
N2 |
28.01 |
|
|
25 |
W22-14RH |
W22-14-OR |
CGA580 |
|
아산화질소 |
N2O |
44.01 |
독/지 |
5.03 |
25 |
W22-14RH |
의료용W27R |
CGA326 |
|
산소 |
O2 |
32.00 |
지 |
|
25 |
W23-14RH |
W22-14-OR |
CGA540 |
|
퍼플루오로프로판 |
C3F8 |
188.02 |
|
|
|
|
|
CGA660 |
|
포스겐 |
COCl2 |
98.93 |
독 |
0.155 |
0.6 |
|
|
CGA660 |
|
포스핀 |
PH3 |
34.00 |
독/가/특 |
3.42 |
25 |
W22-14LH |
(혼) W22-14-OL |
CGA350 |
|
프로판 |
C3H8 |
44.10 |
가 |
0.84 |
4 |
CGA510 |
W22.5-14-IL |
CGA510 |
|
프로필렌 |
C3H6 |
42.08 |
가 |
1.0 |
4 |
W22-14-OL |
CGA510 |
|
|
실란 |
SiH4 |
32.14 |
독/가/특 |
|
25 |
(혼) W22-14-OL |
CGA350 |
|
|
이산화유황 |
SO2 |
64.07 |
독/부 |
0.33 |
1 |
W22-14-OR |
CGA660 |
|
|
육불화황 |
SF6 |
146.07 |
|
2.11 |
6 |
W22-14RH |
W22-14-OR |
CGA590 |
|
PR가스 |
Ar+CH4 |
- |
혼 |
|
25 |
W22-14-OR |
- |
|
|
모노게르만 |
GeH4 |
76.64 |
독/가/특 |
|
|
|
|
|
|
디실란 |
Si2H6 |
62.22 |
독/가/특 |
0.25 |
|
W22-14LH |
|
|