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세정 등급 |
시리즈 |
잔류불순물 량 |
세정 공정 |
대상 표준가스 |
A등급 |
GF |
0.5ppb |
탈지세정(degreasing) --> 고온순수세정(Pure boiling water cleaning) (휘발성분(volatile components) 최대한 많이 제거 방식) |
VOCs ,악취가스 |
B등급 |
GF |
0.3ppm |
탈지세정(degreasing) --> 순수초음파세정(Pure water ultrasonic cleaning) |
하이드로카본(HC) 분석용 가스 |
GSR |
0.11pm |
|||
C등급 |
GF |
데이터 없음 |
탈지세정(degreasing) --> 고온순수세정(Pure boiling water cleaning) |
불소(Fluorine) 분석용 가스 |
GSR |
데이터 없음 |
|||
표준등급 |
GF |
0.3ppm |
탈지세정(degreasing) --> 탈지마감세정(degreasing finishing) |
일반 표준가스 |
GSR |
0.2ppm |
* 고객의 특별한 요구사항이 없을경우 모든 제품은 표준등급으로 제작됩니다.
표준등급은 세정등급 표시가 되어 있지 않습니다.