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특징
• 2련에서 4련까지의 Multi Controller
한대에 두 개에서 네 개까지 Flow meter가 부착되어 있으며 다양한 유량범위와 다양한 가스 컨트롤이 가능합니다.
• 다양한 범위 대응
풀스케일 5ML/MIN의 미소유량부터 20L/MIN의 범위까지 폭넓은 대응이 가능합니다.
• 고정도계측 및 컨트롤
정밀 Flow meter RK1200이 베이스입니다. 미소유량 컨트롤과 고정도(F.S. ±2%)의 계측이 가능합니다.
용도
• 다성분 컨트롤
• 멀티범위 컨트롤
• 실험실용 유량 컨트롤
표준사양
사용유체 |
Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2(실가스교정)
다른 가스는 환산교정, 실가스교정 별도상담 |
유량범위 |
0.5~5ML/MIN 부터 2~20L/MIN |
정확도 |
F.S. ±2%(계측포인트)
※옵션 F.S. ±1%(계측포인트) |
내압 |
0.5MPa |
유효눈금 |
10:1
※옵션 20:1 |
재질
재질 |
SS제 |
BS제 |
본체블록 |
SUS316 |
동 |
테이퍼관 |
경질유리 |
|
씰재 |
불소고무 |
NBR |
플로트 |
경질유리, SUS316 |
|
보호커버 |
아크릴 |
|
최고사용온도 |
60℃ |