유량제어 (Flow Control)

RK1200
0.5~5ML/min, 10~100L/min
커넥션 : Rc 1/4, Rc 1/8(옵션)

 • 사용가스 : Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2 / 액체 : 물

 • 정밀한 유량제어를 위하여 니들밸브 내장

 • 응용분야 : 반도체 제조 현장, 진공라인 제어

 

 

 

 

표준사양

 

가스

액체

유체

Air, N2, O2, H2, Ar, CO2

표준 유체 : 물

유량범위

0.5~5ML/min, 10~100L/min

※옵션 : 0.5~3ML/min

0.5~5ML/min, 0.2~2L/min

※옵션 : 0.5~3ML/min

정확도

F.S. ± 2%

※옵션 : F.S. ± 1%

F.S. ± 2%

 

내압

100 ML / MIN 이하 1.0 MPa

5 L / MIN 이하 0.7 MPa 이하

10 L / MIN 이상 0.5 MPa

5 ML / MIN 이하 1.0 MPa

150 ML / MIN 이하 0.7 MPa

200 ML / MIN 이상 0.5 MPa

유량눈금

10 : 1

※옵션 : 20 : 1

 

 

 

 

 

 

 

 

재질

Material

SS

BS

Body block

SUS316

Brass

Tapered tube

Pyrex, glass

Packing

FKM

NBR

Float

Pyrex, SUS316, SUS304, glass

Protective cover

Acrylic resin

Temperatur resistance

Max 60℃

Connection end

Rc 1/4 (Standard); Rc 1/8 (Optional)











사용예

RK1200 사용예.jpg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

제품치수

RK1150 치수.jpg

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침 (Advanced Metering Infrastructure) 압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
가스발생 (Gas Generator)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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