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처음으로 : LAB Gas System : 실험실 가스유량제어 (Gas Flow Control)
표준사양
형식 |
Mass Flow Controller
EX-550C |
Mass Flow Meter
EX-550M |
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센서방식 |
열식 코일 센서(Thermal Sensor) |
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밸브방식 |
비례 솔레노이드 밸브(비통전시 닫힘) |
- |
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대상가스(*1) |
N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2 등 (기재되지 않은 가스는 N2 환산) |
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유량범위(*2) |
10SCCM~55LM |
|||
제어범위(계측범위) |
2~100%(F.S.) |
|||
응답성 |
전유량제어범위 1sec 이내 (within ±2% F.S.) (*4) |
|||
정도 |
±1.0% S.P. (25%F.S ~ 100%F.2.), ±0.25%F.S. (~25%F.S.) |
|||
재현성 |
±0.2%F.S. |
|||
작동차압(*3) |
50~300kPa (Ar, CO2 : 100kPa ~ 300kPa) |
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입구최대압 |
350kPa(G) |
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내압 |
980kPa(G) |
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외부 LEAK RATE (He) |
1.0 x 10-11Pa·m3/sec이하 |
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온도 |
사용온도 |
5~50℃ |
||
정보보증온도 |
15~35℃ |
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허용보존온도 |
-10~60℃ |
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허용작동습도 |
10~90%RH(결로현상 없음) |
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접가스부재질 |
SUS316L, PTFE, Ni-Co |
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전기연결 |
Dsub9 PIN KFC Standard (SEMI standard 준수) HR-10A X 2 |
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유량설정입력신호 |
0~5VDC(INPUT IMPEDANCE 약 1MΩ) or 4~20mA(INPUT IMPEDANCE 약 250Ω) |
- |
||
유량출력신호 |
0~5VDC(부하저항 10kΩ이상)
Or 4~20mA(부하저항 500Ω이하) |
|||
디지털통신 |
RS485 ROTARY SWITCH에 의한 ADDRESS 설정 |
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소요전원(DC) |
+15VDC(±5%) 100mA이하, -15VDC(5%) 150Ma 이하 Or +24VDC(±10%) 180Ma 이하 (MFM은 전부 100mA이하입니다,) |
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커넥터 |
1/4VCR |
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설치방향 |
지정 없음 |
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무게 |
약 800g |
약 550g |
(*1) 건조기체이며, 부식성분 및 DUST·MIST 등이 포함되지 않은 Clean gas
(*2) 유량단위 SCCM, SLM은 질량유량을 0℃, 1atm 상태에서 체적유량 cc/min, L/min으로 환산한 값입니다.
(*3) 사양에 의해 작동차압이 상이한 경우가 있습니다.
(*4) 압력 지정 필요 (주문방법 기입)