모델

3760

3765

유량 범위

(N2 환산 20 ℃ / 1ATM)

10SCCM~20SLM

(임의로 선택)

30SLM~100SLM

(임의로 선택)

센서 방식

Thermal mass flow sensor

응답성

2sec 이내

3sec 이내

정밀도

± 1.0 % FS (25 ℃)

± 1.5 % FS (25 ℃)

Temperature coefficient

± 0.1FS / ℃ (15 ~ 35 ℃)

± 0.2FS / ℃ (15 ~ 35 ℃)

재현성

± 0.5 % FS (20 ℃)

내압

980kPa (G)

Leak Rate

1 × 10-8Pa · ㎥ / s 이하 (Excluding permeation of He)

사용 온도

5~45 ℃

사용 습도

10 ~ 90 % RH (결로 없을 것)

가스 접촉부 재질

바디 SUS316

씰링 FKM (옵션 CR or NBR)

전기 연결

Dsub9 핀 KFC Standard (SEMI Standard 준수)

유량 출력 신호

0~5VDC (외부 부하 저항 250kΩ 이상)

소요 전원

+ 15VDC (± 5 %) 100mA, -15VDC (± 5 %) 100mA

피팅

(본체 구경)

표준 :1/4 SWL

옵션: 1/8SWL 1/4VCR RC1/4 등

표준: 3/8SWL

옵션: 1/2SWL,3/8VCR, RC 3/8 등

무게

약 800g

약 1000g

※주의 ※

유량 범위에 따른 사양 (유량 범위 · 정도 · 응답 성 등)는 N2 또는 Air 환산 사양입니다.

또한 제작 사양 조건은 1 차측 300kPa 이하, 2 차측 대기 방출로 제작하고 있습니다.

또한 압력 조건에 관해서는 별도 문의 바랍니다.