유량 범위

(N2 환산 20 ℃ / 1ATM)

1SCCM~20SLM (임의로 선택)

센서 방식

Thermal mass flow sensor

응답 성

1sec 이내

정밀도

± 1 % FS (20 ℃)

재현성

± 0.2 % FS (20 ℃) 이내

내압

980kPa (G)

Leak Rate

1 × 10-8Pa · ㎥ / s 이하 (He 투과 제외)

사용 온도

0 ~ 50 ℃ (정밀도 보증 온도 15 ~ 35 ℃ ± 0.1 % FS / ℃)

사용 습도

10 ~ 90 % RH (결로 없을 것)

가스 접촉부 재질

바디 SUS316L

씰링 FKM (옵션 CR or NBR or 칼 레즈)

전기 연결

Dsub9 핀 KFC Standard (SEMI Standard 준수)

유량 출력 신호

0~5VDC (외부 부하 저항 250kΩ 이상)

소요 전원

+ 15VDC (± 5 %) 100mA, -15VDC (± 5 %) 100mA

피팅

표준 1 / 4 SWL

(본체 구경)

옵션 1 / 8SWL, 1/4VCR, RC1/4 등

무게

약 800g

※주의 ※　

유량 범위에 따른 사양 (유량 범위 · 정도 · 응답 성 등)는 N2 또는 Air 환산 사양입니다.

또한 제작 사양 조건은 1 차측 300kPa 이하, 2 차측 대기 방출로 제작하고 있습니다.

또한 압력 조건에 관해서는 별도 문의 바랍니다.