Alicat 사의 Flow Meter와 Flow Controller 제품을 선정하는 방법을 알려드리려고 합니다.

선정하는 방법에 앞서 제품에 대해 간단히 리뷰를 해드리겠습니다.

먼저 Gas Flow Products에는 기체의 유량을 측정할 수 있는 MFM(Mass Flow Meter)와 기체의 유량을 측정 및 컨트롤 할 수 있는 MFC(Mass Flow Controller)가 있습니다.

이 제품들의 특징은 아래와 같습니다.

1. PC에 연결없이 키패드로 컨트롤 가능

2. LCD 화면에 압력, 온도, 유량이 사용자가 원하는 단위로 표시 가능 (압력 : mbar, Mpa등)

3. 최대130가지의 가스 측정 가능 (Gas Select 5.0)

- M & MC : 98가지

- MC & MCS : 130가지

4. 실시간 액체 흐름 및 압력 모니터링 제어

5. USB로 충전가능한 Portable Meter로 완충 후 18시간 연속사용 가능

6. 정밀도 : 0.8% of the reading (0.4% optional) + 0.2%

두번째로는 Liquid Flow Products에 속하는 L Series와 LC Series, LCR Series가 있습니다.

L, LC, LCR 순서로 작동되는 유량범위가 커지게 됩니다.

이 제품의 경우, 액체가 통과되는 부분의 재질이 SUS316이기 때문에 산, 염기 등의 케미칼 특성이

강한 제품은 사용에 한계를 가질 수 있습니다.

따라서 물 이외의 다른 액체를 사용하시고자 하실 때에는 반드시

상담 후 선정 부탁드립니다.

이 제품들의 특징은 아래와 같습니다.

1. PC에 연결없이 키패드로 컨트롤 가능

2. LCD 화면에 압력, 온도, 유량이 사용자가 원하는 단위로 표시 (압력 : mbar, Mpa 등)

3. Analog 및 Digital output & input

4. 산이나 염기를 띄는 액체는 측정이 어려움

이제 제품을 선정하는 방법을 (주)세화하이테크에서 가장 많이 찾아주시는 MFC로 쉽게 설명드리겠습니다.

위의 그림을 보시면 MC 다음에 보이는 숫자가 바로 최대유량을 뜻합니다.

예를들어, 최대 50ml/min을 사용하시길 원하신다면 MC-50SCCM-D를 선택하시면 됩니다.

여기서 최소 유량은 최대 유량의 1/200을 해주시면 됩니다.

따라서 MC-50SCCM-D는 최소 0.25ml/min에서 최대 50ml/min까지 컨트롤이 가능한 제품이라고 생각해주시면 됩니다.

알고 계시겠지만, SCCM은 mL로 SLPM은 L로 보시면 파트넘버를 선정하는데 도움이 되실 듯 합니다^^

위 그림은 각 유량범위별로 선택할 수 있는 fitting의 규격을 확인하실 수 있습니다.

아까 예를 들었던 MC-50SCCM-D의 경우에는 M5 (10-32) Female Thread를 사용하셔야함을 보실 수 있습니다.

M5 (10-32) Female Thread에 연결할 수 있는 tubing의 사이즈는 1/8”과 1/4”가 있으며

파트넘버는 위의 그림과 같습니다.

이렇게  제품에 대한 전반적인 특징들과 함께 제품을 선정하는 방법에 대해서 설명드렸습니다.