압력제어 (Pressure Control)

GF 시리즈 주문 품번코드

< GF 시리즈 주문 품번 >

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GF품번.jpg

 

 

 

 

세정 등급

시리즈

잔류불순물 량

세정 공정

대상 표준가스

A등급

GF

0.5ppb

탈지세정(degreasing) --> 고온순수세정(Pure boiling water cleaning)

(휘발성분(volatile components) 최대한 많이 제거 방식)

VOCs ,악취가스

B등급

GF

0.3ppm

탈지세정(degreasing) --> 순수초음파세정(Pure water ultrasonic cleaning)

하이드로카본(HC)

 

분석용 가스

GSR

0.11pm

C등급

GF

데이터 없음

탈지세정(degreasing) --> 고온순수세정(Pure boiling water cleaning)

불소(Fluorine)

 

분석용 가스

GSR

데이터 없음

표준등급

GF

0.3ppm

탈지세정(degreasing) --> 탈지마감세정(degreasing finishing)

일반 표준가스

GSR

0.2ppm

   

 * 고객의 특별한 요구사항이 없을경우 모든 제품은 표준등급으로 제작됩니다.

      표준등급은 세정등급 표시가 되어 있지 않습니다.

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