특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)

독성/ 부식성 가스용 퍼지시스템
가스 배관내 오염방지, 독성 & 부식성 가스 배출

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독성 / 부식성 가스 사용 시 Purge System 사용

 

퍼지(purge) 란 주로 불활성가스(inert gas)로 배관을 청소하는 것을 말한다.

 

1. 퍼지의 주요 목적은 아래와 같다.

 

1) 가스 배관내 오염방지: 퍼지를 통해 공기(air)와 수분(moisture) 제거

2) 독성 & 부식성 가스 배출: 불활성 가스로 희석시킨 후 외부 안전한 장소로 배출

 

2. 퍼지시스템(Purge system) 종류 및 기능

 

1) Cross purge system (주로 독성 & 부식성 가스에 사용)

 

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기능

 

1. 실린더 교체 시(cylinder exchange) 잔류가스 배출

-실린더 교체 시 배관에 잔류되어 있는 독성 &부식성가스가외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 

불활성 가스로 희석 후외부 안전한 장소로 배출시킨다.

2. 실린더 교체전 잔류가스 압력배출

3. 실린더 연결 후 공기 & 수분 오염제거


 

2) T purge system (독성 & 부식성 가스 & 고순도 가스에 사용)

--> 퍼지를 위해 불활성가스 사용하지 않고 자체가스를 이용

 

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기능

 

1. 실린더 교체 시(cylinder exchange) 잔류가스 배출

2. 실린더 교체전 잔류가스 압력배출

3. 실린더 연결 후 공기 & 수분 오염제거


 

3) Self purge system (고순도 가스에 사용) --> 퍼지를 위해 불활성가스 사용하지 않고 자체가스를 이용

 

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기능

 

1. 실린더 교체 시(cylinder exchange) 잔류가스 배출

2. 실린더 교체전 잔류가스 압력배출

3. 실린더 연결 후 공기 & 수분 오염제거

 

 

T-purge system 사용예시

(독성/부식성 가스에 사용 가능)

- 이 시스템은 잔류가스를 사용처(point-of use)를 통해서만 배출 가능하다.

- N2가스 투입의 목적은 배관내 공기 & 수분제거

 

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