유량제어 (Flow Control)

SERO 2000N(한국)

새로운 모델 SERO-2000N(Power Supply & Readout Unit - Programable Controller)은 기본적으로 MFC에 안정된 전원을 

공급하고 설정값(Set-point Value)과 유량값(Flow Value)을 Display하며 MFC를 정확하게 제어하는 장치입니다.

 

•  Microprocontroller based electronics unit

•  RS-232C or Analogue, TTL Interface function

•  FND Display, Rotary Switch

•  Mass flow controller 의 Purge function

 

DISPLAY

4 digit - 7 Segment, adjustable decimallocation

ACCURACY

± 0.1% of Full scale

INPUT SIGNAL

0-5 volts  Option(4-20mA)

OUTPUT SIGNAL

0-5 volts into > 10KΩ, Option(4-20mA)

INPUT POWER

220 VAC (50/60Hz)

OUTPUT POWER

±15 VDC (0.5 Amp), (Option : +24VDC)

FUNTIONS

퍼지기능, 적산기능

UNIT OF DISPLAY

SCCM, SLM, %

DECIMAL POINT

User selectable range "0.0.0.0"

적산제어

1/100 or 1/1000 of Full Scale

REMOTECONTROL

Set-point control : 0-5 voltsOption(4-20mA)

Flow on/off control : Digital Input - TTL

Flow on/off reserved : Digital output - TTL(Open Collector)

Flow out signal : 0-5 volts or 4-20mA forfull scale of MFC

Trip Point : 1 relay per flow channel(Standard)

COMMUNICATION

RS-232C

CHANNEL

1~8 channel

SQUENCE CONTROL

3 Program, 16step




Model SERO-2000N MFC Connector – 9 Pin Male D-Sub Connector

 

Name

PIN No

FUNCTION

GND

1

Ground

GND

2

Ground

-15VDC

3

MFC-15VDC

GND

4

Ground

+15VDC

5

MFC +15VDC 전원출력(+24VDC : Option)

Set Point Signal

6

Output 0-5VDC(4-20mA : Option)

Flow Signal

7

Input 0-5VDC(4-20mA : Option)

GND

8

Ground

GND

9

Chassis Ground




 

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