특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)

L18
초소형 반도체 제조 프로세스용

 

견적문의문구.jpg


입구압력

0.99MPa이하

조정압력

최대 0.7MPa
(레인지 사양 0~0.2MPa, 0~0.4MPa, 0~0.6MPa, 0~0.7MPa) 

원압변동

P1: 0.05MPa, P2=0.0007MPa

내압압력

1차게이지 1.5MPa

사용온도

-10~+40℃

외부리크

1×10-11Paµm3 /sec・He (진공법)

질량

IGS사양:약 420g、커넥터 용접타입:약 360g

설치방법

커넥터용접사양: 후면 나사에 의한 접속 체결
IGS 사양: 플랜지에 볼트를 연결하여 체결함

 

 

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
LAB Gas System
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