유량제어 (Flow Control)

EX-550
유량범위:10SCCM~55LM
SUS316L, 1/4VCR
  • Metal Seal 구조
  • 저렴한 가격이면서 고정도 계측 가능
  • 고속응답으로 우수한 제로점 안정성
  • 입출력신호 : 0-5V 또는 4-20mA
  • 전원 ± 15V 또는 24V 단일전원에서 주문 시 선택 가능
  • 전원 커넥터에는 범용성이 높은 D-sub9핀 커넥터 채용
  • Rotary Switch 전환으로 본체에 등록되어 있는 가스종류 사용가능 (유량은 N2가스와의 비로 계산한 값)
  • 통신기능 표준장착 (RS485)
  • RoHS 인증품

 

표준사양

형식

Mass Flow Controller

EX-550C

Mass Flow Meter

EX-550M

센서방식

열식 코일 센서(Thermal Sensor)

밸브방식

비례 솔레노이드 밸브(비통전시 닫힘)

-

대상가스(*1)

N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2 등

(기재되지 않은 가스는 N2 환산)

유량범위(*2)

10SCCM~55LM

제어범위(계측범위)

2~100%(F.S.)

응답성

전유량제어범위 1sec 이내 (within ±2% F.S.) (*4)

정도

±1.0% S.P. (25%F.S ~ 100%F.2.), ±0.25%F.S. (~25%F.S.)

재현성

±0.2%F.S.

작동차압(*3)

50~300kPa (Ar, CO2 : 100kPa ~ 300kPa)

입구최대압

350kPa(G)

내압

980kPa(G)

외부 LEAK RATE (He)

1.0 x 10-11Pa·m3/sec이하

온도

사용온도

5~50℃

정보보증온도

15~35℃

허용보존온도

-10~60℃

허용작동습도

10~90%RH(결로현상 없음)

접가스부재질

SUS316L, PTFE, Ni-Co

전기연결

Dsub9 PIN KFC Standard (SEMI standard 준수)

HR-10A X 2

유량설정입력신호

0~5VDC(INPUT IMPEDANCE 약 1MΩ) or

4~20mA(INPUT IMPEDANCE 약 250Ω)

-

유량출력신호

0~5VDC(부하저항 10kΩ이상)

Or 4~20mA(부하저항 500Ω이하)

디지털통신

RS485 ROTARY SWITCH에 의한 ADDRESS 설정

소요전원(DC)

+15VDC(±5%) 100mA이하, -15VDC(5%) 150Ma 이하

Or +24VDC(±10%) 180Ma 이하 (MFM은 전부 100mA이하입니다,)

커넥터

1/4VCR

설치방향

지정 없음

무게

약 800g

약 550g

(*1) 건조기체이며, 부식성분 및 DUST·MIST 등이 포함되지 않은 Clean gas

(*2) 유량단위 SCCM, SLM은 질량유량을 0℃, 1atm 상태에서 체적유량 cc/min, L/min으로 환산한 값입니다.

(*3) 사양에 의해 작동차압이 상이한 경우가 있습니다.

(*4) 압력 지정 필요 (주문방법 기입)

 

 

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침 (Advanced Metering Infrastructure) 압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
가스발생 (Gas Generator)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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