유량제어 (Flow Control)

디지털MFC EX-250S
유량범위:0~10SCCM, 0~10SLM
SUS316, 1/4SWL,1/4VCR(옵션), RS-485 통신


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  • 우수한 성능 및 컴팩트한 디자인
  • 저렴한 가격, 고정밀 측정
  • 빠른 반응 속도 및 높은 안정성
  • EX-250S에 등록된 가스는 로터리 스위치로 사용 가능
  • RoHS 준수, CE 인증

 

 

 

표준사양

유량 범위

최소 : 0~10SCCM, 최대 : 0~5SLM

제어/측정 범위

2~100% F.S.

정확도

±1% F.S.

반복성

±0.2% F.S.

반응

≤1초 이내 ±2% F.S.

설치방향

수평

보증압력

980kPa(G)

누설 비율

1x10-8Paµm3/s

허용 작동 습도

0~50℃ (정확 보증 온도 : 15~35℃)

가스 접촉부 재질

SUS316, SUS316L, Magnetic Stainless Steel,

Ni-co, PTFE, FKM

전기 연결

D-sub 9-pin, KFC standard

통신 시스템

RS-485

입력 신호

0~5VDC 또는 4~20mA

출력 신호

0~5VDC 또는 4~20mA

전원 공급

±15VDC 또는 24VDC

피팅

1/4SWL

무게

500g

 

 

 주) 통신포트 기본사양이 기존 원형에서 범용성이 있는 랜케이블 형식으로 바뀌었습니다.

      다운로드에서 도면 확인하세요.

 


 

 

MFC 3660과 EX-250S 비교

 

제품

아날로그 MFC 3660

디지털 MFC Ex-250s

크기(mm)

76x95x32

76x76x30

응답성

2초 이내(full scale ±2% 이내)

1초 이내(full scale ±2% 이내)

유량출력신호

0~5VDC

0~5VDC
4~20mA

재현성
(Repeatability)

Full scale ±0.5% 이내

Full scale ±0.2% 이내

허용주위온도

5~45

5~50

교정온도

20

0, 20, 25

전원

±15VDC

±15VDC 또는 24VDC

무게

약 1,000g

약 500g

인증

CE

CE, RoHS(유해물질 안전인증, EU발급)

통신시스템

자체 불가능
(MFC Read-out unit 
필요)

RS-485

사용가스

지정된 가스만 사용가능

Rotary Switch 전환으로 본체에 
등록되어 있는 가스종류 사용 가능
(N2 based on, Air/H2/Ar/O2/CO2)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

MFC EX-250S 제어 프로그램

EX-250S DATA LOGGING APPLICATION.png

 

 

 


사업분야
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