유량제어 (Flow Control)

3200 시리즈
고성능 MFC, 미소유량컨트롤가능
유량범위:1SCCM~20SLM

견적문의문구.jpg

  • 온도 추종형 전류차 검출 방식의 유량 센서(특허출원증)를 탑재해 고정도, 고속응답을 실현
  • 안전 방향 작동의 normally closed valve를 채용
  • Conversion Factor 교환 기능에 의한 멀티 가스 대응
  • Diapragm Valve Seat의 채용에 의한 dead volume을 줄임
  • F.S.1SCCM의 미소 유량 대응(SR 옵션)
  • 연소 가스 제어용의 저차압 대응(LP 옵션) 

 

  • Standard Specification

유량범위

1 SCCM20 SLM(조건 선택 가능)

센서

Thermal mass flow sensor

밸브 타입

비례 솔레노이드밸브

제어 범위

2100% (F.S.)

반응

1초 이하(보통 2% 이내 0-100%)

정확도

±1% F.S. (1535°C에서 정확성 보장)

반복성

±0.2%F.S.

작동 차압

F.S. ≤ 5 SLM: 50300 kPa

F.S. > 5 SLM: 100300 kPa

옵션 : 조건에 따라 저차압(LP)사양을 사용할 수 있습니다.

허용 작동 압력

300 kPa (G) 이하

보증 압력

980 kPa (G)

허용 주위 온도

050°C

허용 주위 습도

1090% (결로현상 없음)

가스 접촉부분 재질

Body: SUS316L

Valve seat: PTFE 

Sealing: SUS316L, Ni, Au

Option: SUS seal (SU), inner surface polish (KP)

전기 연결

KFC 표준에 따른 Dsub 9-pin 커넥터(SEMI 표준 준수)

유속 입력 신호

05 VDC (Input impedance: 1 MΩ 이상)

유속 출력 신호

05 VDC (외부 부하 저항: 250 kΩ 이상)

필요 전원 공급 장치

+15 VDC (±5%) 100 mA, 15 VDC (±5%) 200 mA

조인트(Main unit bore)

표준: 1/4 VCR 당 옵션: 1/4 SWL

무게

약 1000g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
LAB Gas System
실험가스공급 (Gas Supply) 실험실 가스분석 (Gas Analysis) 실험실 가스유량제어
(Gas Flow Control)
실험실 가스혼합 (Gas Mixing) 실험실 가스안전 (Gas Safety)
제품소개
압력제어
(Pressure Control)
유량제어
(Flow Control)
가스혼합
(Gas Mixing)
가스분석
(Gas Analysis)
가스안전
(Gas Safety)
특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
가스발생
(Gas Generator)
원격검침
(Advanced Metering Infrastructure)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
거래표준약관
개인정보정책
이메일무단수집거부
Downloads
카타로그 동영상 제품매뉴얼 뉴스레터
서비스
견적문의 전화상담요청 A/S 문의 기술자료 Case Study 자주묻는질문(FAQ) Trouble shooting
회사소개
회사개요 인사말 회사연혁 조직도 최근소식/업데이트 품질/환경 경영방침 지적재산권/인증서 주요고객사 채용정보 연구개발 찾아오시는 길