유량제어 (Flow Control)

MFC 3660 시리즈
표준 MFC
유량범위:10SCCM~20SLM
  • 가연성 가스 유량제어 가능(센서 발열부가 가스와 비접촉)
  • 개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현
  • 안전 방향 작동의 normally closed valve를 채용
  • Solenoid actuator로 고신뢰성을 확보
  • 연소 가스 제어용의 저차압 사양(LP 옵션) 
  • 가스 접촉부 - 내부식성이 강한 스테인레스 스틸 사용


 

 

표준사양

    모델

    3660

    3665

    유량범위

    (N2당,

    20°C/1 기압)

    10 SCCM~20 SLM

    (조건 선택 가능)

    30 SLM~100 SLM

    (조건 선택 가능)

    센서

    Thermal mass flow sensor

    밸브 타입

    비례 솔레노이드밸브

    제어 범위

    2~100% (F.S.)

    5~100% (F.S.)

    반응

    2초 이하(0~100%이내

    평균 ±2%)

     

    3초 이하 (0~100%이내

    평균 ±2%)

    정확도

    ±1.0% F.S. (25°C)

    ±1.5% F.S. (25°C)

    온도 계수

    ±0.1 F.S./°C (15–35°C)

    ±0.2 F.S./°C (15–35°C)

    반복성

    ±0.2%F.S.

    작동 차압

    F.S. ≤ 5 SLM: 50~300 kPa (G)

    F.S. ≤ 50 SLM: 150~300 kPa (G)

    F.S. > 100 SLM: 50~300 kPa (G)

    F.S. > 50 SLM: 200~300 kPa (G)

    옵션 : 중간 차압 (MP) 및 저 차압 (LP) 사양을 사용할 수 있습니다.

    허용 작동 압력

    500 kPa (G) 이하

    보증 압력

    980 kPa (G)

    누설 비율

    1 × 10-8 Pa·m3 /s 이하 (He 투과 제외)

    허용 주위 온도

    5~45°C

    허용 주위 습도

    10~90% (결로현상 없음)

    가스

    접촉부분 재질

    Body: SUS316

    Valve seat: FKM (option: CR or NBR)

    Sealing: FKM (option: CR or NBR)

    전기 연결

    KFC 표준에 따른 Dsub 9-pin 커넥터(SEMI 표준 준수)

    유속 입력 신호

    0~5 VDC (Input impedance: 1 MΩ 이상)

    유속 출력 신호

    0~5 VDC (외부 부하 저항: 250 kΩ 이상)

    필요 전원 공급 장치

    +15 VDC (±5%) 100 mA, ~15 VDC (±5%) 250 mA

    조인트(Main unit bore)

    Standard: 1/4SWL

    Option: 1/8SWL 1/4VCR RC1/4, etc

    Standard: 3/8SWL

    Option: 1/2SWL 3/8VCR RC3/8, etc.

    무게

    약 1000g

    1500g

     

     

     

     

     

     

     

     

    MFC 3660과 EX-250S 비교

    제품

    아날로그 MFC 3660

    디지털 MFC Ex-250s

    크기(mm)

    76x95x32

    76x76x30

    응답성

    2초 이내(full scale ±2% 이내)

    1초 이내(full scale ±2% 이내)

    유량출력신호

    0~5VDC

    0~5VDC
    4~20mA

    재현성
    (Repeatability)

    Full scale ±0.5% 이내

    Full scale ±0.2% 이내

    허용주위온도

    5~45

    5~50

    교정온도

    20

    0, 20, 25

    전원

    ±15VDC

    ±15VDC 또는 24VDC

    무게

    약 1,000g

    약 500g

    인증

    CE

    CE, RoHS(유해물질 안전인증, EU발급)

    통신시스템

    자체 불가능
    (MFC Read-out unit 
    필요)

    RS-485

    사용가스

    지정된 가스만 사용가능

    Rotary Switch 전환으로 본체에 
    등록되어 있는 가스종류 사용 가능
    (N2 based on, Air/H2/Ar/O2/CO2)

    사업분야
    가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
    LAB Gas System
    실험가스공급 (Gas Supply) 실험실 가스분석 (Gas Analysis) 실험실 가스유량제어
    (Gas Flow Control)
    실험실 가스혼합 (Gas Mixing) 실험실 가스안전 (Gas Safety)
    제품소개
    압력제어
    (Pressure Control)
    유량제어
    (Flow Control)
    가스혼합
    (Gas Mixing)
    가스분석
    (Gas Analysis)
    가스안전
    (Gas Safety)
    가스발생
    (Gas Generator)
    특수사양 레귤레이터
    (Special Spec Regulators)
    원격검침
    (Advanced Metering Infrastructure)
    MAP 포장
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