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유량제어 (Flow Control)

MFC 3660 시리즈
표준 MFC
유량범위:10SCCM~20SLM
  • 개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현
  • 안전 방향 작동의 normally closed valve를 채용
  • Solenoid actuator로 고신뢰성을 확보
  • 연소 가스 제어용의 저차압 사양(LP 옵션) 

 

  • Standard Specification

모델

3660

3665

유량범위

(N2당, 20°C/1 기압)

10 SCCM~20 SLM

(조건 선택 가능)

30 SLM~100 SLM

(조건 선택 가능)

센서

Thermal mass flow sensor

밸브 타입

비례 솔레노이드밸브

제어 범위

2~100% (F.S.)

5~100% (F.S.)

반응

2초 이하(0~100%이내

평균 ±2%)

 

3초 이하 (0~100%이내

평균 ±2%)

 

정확도

±1.0% F.S. (25°C)

±1.5% F.S. (25°C)

온도 계수

±0.1 F.S./°C (1535°C)

±0.2 F.S./°C (1535°C)

반복성

±0.2%F.S.

작동 차압

F.S. ≤ 5 SLM: 50~300 kPa (G)

F.S. ≤ 50 SLM: 150~300 kPa (G)

F.S. > 100 SLM: 50~300 kPa (G)

F.S. > 50 SLM: 200~300 kPa (G)

옵션 : 중간 차압 (MP) 및 저 차압 (LP) 사양을 사용할 수 있습니다.

허용 작동 압력

500 kPa (G) 이하

보증 압력

980 kPa (G)

누설 비율

1 × 10-8 Pa·m3 /s 이하 (He 투과 제외)

허용 주위 온도

0~50°C

허용 주위 습도

10~90% (결로현상 없음)

가스 접촉부분 재질

Body: SUS316

Valve seat: FKM (option: CR or NBR)

Sealing: FKM (option: CR or NBR)

전기 연결

KFC 표준에 따른 Dsub 9-pin 커넥터(SEMI 표준 준수)

유속 입력 신호

0~5 VDC (Input impedance: 1 MΩ 이상)

유속 출력 신호

0~5 VDC (외부 부하 저항: 250 kΩ 이상)

필요 전원 공급 장치

+15 VDC (±5%) 100 mA, ~15 VDC (±5%) 250 mA

조인트(Main unit bore)

Standard: 1/4SWL

Option: 1/8SWL 1/4VCR RC1/4, etc

Standard: 3/8SWL

Option: 1/2SWL 3/8VCR RC3/8, etc.

무게

약 1000g

약 1500g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침(Advanced
Metering Infrastructure)
압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 가스중앙공급시스템
(Central Gas Supply System)
가스발생 (Gas Generator) 특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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