유량제어 (Flow Control)

5100 시리즈
고품질 메탈 씰 MFC
유량범위:1SCCM~20SLM

견적문의문구.jpg

  • 각 설정range에 의한 제어 응답성 향상
  • 설정 전압에 대한 추종성 향상 (Voltage ramping 사양에 대응)
  • 멀티 렌지에 대응하기 위해 Range 변환 기능 탑재
  • 밸브를 최적화 한 것으로 각Range에 의한 제어 분해 기능 향상 

 

  • Standard Specification

유량범위

1 SCCM20 SLM(조건 선택 가능)

센서

Thermal mass flow sensor

밸브 타입

비례 솔레노이드 밸브(전력공급 끊길 시 닫힘)

제어 범위

2100% (F.S.)

반응

1초 이하(보통 2% 이내 0-100%)

정확도

±1% F.S. (1535°C에서 정확성 보장)

반복성

±0.2%F.S.

작동 차압

F.S. ≤ 5 SLM: 50300 kPa

F.S. > 5 SLM: 100300 kPa

옵션 : 조건에 따라 저차압(LP)사양을 사용할 수 있습니다.

허용 작동 압력

300 kPa (G) 이하

보증 압력

980 kPa (G)

누설 비율

1 × 10-11 Pa·m3 /s 이하

허용 주위 온도

050°C

허용 주위 습도

1090% (결로현상 없음)

가스 접촉부분 재질

Body: SUS316L

Diaphragm:SUS316L

Valve seat: PTFE

Sealing: SUS316L, Ni, Au

Option: SUS seal (SU), inner surface polish (KP)

전기 연결

KFC 표준에 따른 Dsub 9 핀 커넥터 (SEMI 표준 준수)

유속 입력 신호

05 VDC (Input impedance: 1 MΩ 이상)

유속 출력 신호

05 VDC (외부 부하 저항: 250 kΩ 이상)

필요 전원 공급 장치

+15 VDC (±5%) 100 mA, 15 VDC (±5%) 200 mA

조인트

(Main unit bore)

표준: 1/4 VCR 당 옵션: 1/4 SWL

무게

약 1000 g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
LAB Gas System
실험가스공급 (Gas Supply) 실험실 가스분석 (Gas Analysis) 실험실 가스유량제어
(Gas Flow Control)
실험실 가스혼합 (Gas Mixing) 실험실 가스안전 (Gas Safety)
제품소개
압력제어
(Pressure Control)
유량제어
(Flow Control)
가스혼합
(Gas Mixing)
가스분석
(Gas Analysis)
가스안전
(Gas Safety)
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(Special Spec Regulators)
가스발생
(Gas Generator)
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(Advanced Metering Infrastructure)
MAP 포장
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