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유량제어 (Flow Control)

5100 시리즈
고품질 메탈 씰 MFC
유량범위:1SCCM~20SLM
  • 각 설정range에 의한 제어 응답성 향상
  • 설정 전압에 대한 추종성 향상 (Voltage ramping 사양에 대응)
  • 멀티 렌지에 대응하기 위해 Range 변환 기능 탑재
  • 밸브를 최적화 한 것으로 각Range에 의한 제어 분해 기능 향상 

 

  • Standard Specification

유량범위

1 SCCM20 SLM(조건 선택 가능)

센서

Thermal mass flow sensor

밸브 타입

비례 솔레노이드 밸브(전력공급 끊길 시 닫힘)

제어 범위

2100% (F.S.)

반응

1초 이하(보통 2% 이내 0-100%)

정확도

±1% F.S. (1535°C에서 정확성 보장)

반복성

±0.2%F.S.

작동 차압

F.S. ≤ 5 SLM: 50300 kPa

F.S. > 5 SLM: 100300 kPa

옵션 : 조건에 따라 저차압(LP)사양을 사용할 수 있습니다.

허용 작동 압력

300 kPa (G) 이하

보증 압력

980 kPa (G)

누설 비율

1 × 10-11 Pa·m3 /s 이하

허용 주위 온도

050°C

허용 주위 습도

1090% (결로현상 없음)

가스 접촉부분 재질

Body: SUS316L

Diaphragm:SUS316L

Valve seat: PTFE

Sealing: SUS316L, Ni, Au

Option: SUS seal (SU), inner surface polish (KP)

전기 연결

KFC 표준에 따른 Dsub 9 핀 커넥터 (SEMI 표준 준수)

유속 입력 신호

05 VDC (Input impedance: 1 MΩ 이상)

유속 출력 신호

05 VDC (외부 부하 저항: 250 kΩ 이상)

필요 전원 공급 장치

+15 VDC (±5%) 100 mA, 15 VDC (±5%) 200 mA

조인트

(Main unit bore)

표준: 1/4 VCR 당 옵션: 1/4 SWL

무게

약 1000 g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침(Advanced
Metering Infrastructure)
압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 가스중앙공급시스템
(Central Gas Supply System)
가스발생 (Gas Generator) 특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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