유량제어 (Flow Control)

5400 시리즈
저가격 메탈 씰 MFC
유량범위:10SCCM~20SLM
  • 온도 추종형 전류차 검출 방식의 유량 센서(특허출원증)를 탑재하여 고정도, 고속 응답을 실현
  • Conversion Factor 교환 기능에 의한 멀티 가스 대응 
  • 無용접 구조, metal seal화(化)에 의한 low leak 
  • 면간(面間), 보디 치수, 배선 배합은 타사(他社)의 제품과 치환(置換)에 대응한 구조 

 


  • Standard Specification

모델

5400

5410

유량범위

(N2당, 20°C/1 기압)

10 SCCM20 SLM

(조건 선택 가능)

10 SCCM20 SLM

(조건 선택 가능)

센서

Thermal mass flow sensor

밸브 타입

비례 솔레노이드밸브

(전력공급 끊길 시 닫힘)

-

제어 범위

2100% (F.S.)

-

반응

1초 이하(0100%이내

평균 ±2%)

-

정확도

±1% F.S. (20°C)

반복성

±0.2%이내 F.S. (20°C)

작동 차압

F.S. ≤ 5 SLM: 50300 kPa (G)

-

F.S. > 5 SLM: 100300 kPa (G)

-

허용 작동 압력

300 kPa (G) 이하

보증 압력

980 kPa (G)

누설 비율

1 × 10-11 Pa·m3 /s 이하

허용 주위 온도

050°C (정확도는 15-35°C, ± 0.1 % F.S.S. /°C에서 보장됨)

허용 주위 습도

1090% (결로현상 없음)

가스 접촉부분 재질

Body: SUS316

Diaphragm: Ni-Co

Valve seat: PTFE

Sealing: SUS316L, Ni

전기 연결

KFC 표준에 따른 Dsub 9-pin 커넥터(SEMI 표준 준수)

유속 입력 신호

05 VDC

(Input impedance: 1 MΩ 이상)

 

유속 출력 신호

05 VDC (최소 부하 저항: 250 kΩ 이상)

필요 전원 공급 장치

+15 VDC (±5%) 100 mA,

15VDC (±5%) 200mA

+15 VDC (±5%) 100 mA,

15VDC (±5%) 100mA

조인트

(Main unit bore)

Standard: 1/4 VCR equivalent Option: 1/4 SWL

무게

약 1000g

약 800g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침 (Advanced Metering Infrastructure) 압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 특수사양 레귤레이터
(Special Spec Regulators)
가스발생 (Gas Generator)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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