유량제어 (Flow Control)

8500 시리즈
표시기부착형 MFC
유량범위:10SCCM~20SLM
MODEL 8300의 후계 기종으로 24V 단일 전원으로 사용할 수 있는 MFC

 

• 표시부의 View point 변경, 패턴 설정 등 기존 기종에 없는 기능 탑재

   (표시기 부분 분리 가능한 모델도 有)

• High Lift Actuator에 의해 대유량을 작은 바디로 실현

• 표시 설정기 탑재로 DC24V 단일 전원만으로도 작동 가능

• RS232C/RS485 통신기능, 적산기능 표준 장착

• 14비트컨버터 탑재에 의하여 4·1/2단위로 표시/조작 가능

• 센서 발열부가 가스와 비 접촉하여 가연성 가스의 유량제어 가능

• 수직 외에도 변형 설치 가능

• SV설정에 더하여 다섯종류의 패턴 설정 가능

• 오토 제로, 오토 클로즈 기능 탑재

 

 

 

표준사양 

모델

8500MC/MM

8550MC/MM

유량범위

(N2 환산 20℃/1ATM)

10SCCM~20SLM

(임의선택)

30SLM~100SLM

(임의선택)

센서방식

열식권선센서

밸브방식(*1)

비례솔레노이드밸브 (비 통전시 닫힘)

제어범위(*1)

2~100% (F.S.)

5~100%(F.S)

응답성(*1)

2초이내

3초이내

정도

±1.0% F.S. (25℃)

±1.5% F.S. (25℃)

온도계수

±0.1% F.S./℃ (15~35℃)

±0.2% F.S./℃ (15~35℃)

재현성

±0.5%F.S.

작동차압범위

(*1)

F.S.≤5SLM 50~300kPa(G)

F.S.>5SLM 100~300kPa(G)

F.S.≤50SLM 150~300kPa(G)

F.S.>50SLM 200~300kPa(G)

옵션 : 중차압사양(MP), 저차압사양(LP)을 조건에 따라 제작 가능

작동가능압력(*1)

500kPa(G) 이하

내압

980kPa(G)

LEAK RATE

1x10-8Pa·m3/s이하 (He투과 포함 안 함)

허용주위온도

5~45℃

허용주위습도

10~90%RH (결로없음)

접가스부재질

바디 SUS316

밸브시트 FKM (옵션 CR or NBR)

SEAL 재질 FKM (옵션 CR or NBR)

 

 

 

모델

8500MC/MM

8550MC/MM

전기접속

Dsub 하프피치 20핀 HIROSE DX 10M-20S

유량설정

입력신호(*1)

0~5VDC (입력 임피던스 100kΩ이상)

또는 4~20mA 선택

유량출력신호

0~5VDC (외부 부하 저항 250kΩ이상)

또는 4~20mA (외부 부하 저항 300kΩ 이하) 선택

통신

RS232C (3선식) or RS485 (3선식) 선택

그외기능

순간유량·적산유량 전환표시기능

(7세그먼트 LED 4자리 표시정도 ±1% 적산표시 0000~9999MAX)

알람출력

(NPN 오픈 커넥터 출력 2점 최대정격 DC35V 50mA),

패턴설정 (5패턴) 기능

소요전원

24VDC ±10% (리플5%) 소비전원 300mA이하

커넥터

(본체구경)

표준 1/4F900 (9/16-18UNF)

옵션 1/8F900, 1/4UJR,

Rc1/4등

표준 3/8F900(9/16-18UNF)

옵션 1/2F900, 3/8UJR,

Rc3/8 등

중량

약 1200g

1500g

(*1) MASS FLOW CONTROLLER 타입에만 적용됩니다.

 


사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
LAB Gas System
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제품소개
압력제어
(Pressure Control)
유량제어
(Flow Control)
가스혼합
(Gas Mixing)
가스분석
(Gas Analysis)
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