유량제어 (Flow Control)

D8500 (단종)
표시기부착형 MFC
유량범위:50SCCM〜5SLM

견적문의문구.jpg

 

해당 제품은 단종되었습니다

 

특징

  • High lift actuator 에 의해 대유량을 작은 body로 실현
  • 표시설정기 탑재, DC24V 단일 전원만으로 동작 가능
  • RS232C/RS485 통신 기능, 적산 기능이 표준으로 장착
  • 14 BIT convertor 탑재에 의한 4 1/2자리수로 표시, 조작이 가능
  • 센서 발열부가 가스와 비접촉하기 때문에 가연성 가스의 유량 제어가 가능
  • 유량 설정에  5종류의 PATTERN 설정이 가능

 

 

 

표준사양

F.S.유량(N2환산)

50SCCM~5SLM

5SLM초~20SLM

지정가능가스(드라이가스)

N2, Air, O2, CO2, Ar, H2, He

센서방식

Thermal coil sensor

밸브방식(*7)

Proportional Solenoid Valve (N/C)

제어

제어/계측범위

2~100%F.S.

응답성

0→10%F.S.이상2초이내(*1)

0→10%F.S.미만4초이내(*1)

정도

유량정도

±1.0%F.S.(*2)

±1.5%F.S.(*2)

재현성

±0.75%F.S.

압력

내압

1000kPa(G)

작동가능압력

500kPa(G)이하

작동차압*7

50~300kPa(G)

100~300kPa(G)

온도

사용가능온도

5~45

온도특성

0.2%F.S./

습도

허용주위습도

1-~90%RH(결로 없음)

Leak

He Leak rate

1×10-8Pam3/sec이하(*3)

유량

설정방법

디지털

①설정표시기 통신

이벤트입력전환

아날로그*7

①0~5V ②4~20mA(임의 전환)

유량출력

아날로그

①0~5V ②4~20mA(상기와 연동)

표시기

표시방법

7세그먼트 LED 4자리

적산유량

12자리(*4)

설치방향

변경가능

일체/분리

일체형/분리형1m/분리형3m/분리형5m

상태표시

LED

OK(허용범위내)/ALM(알람출력연동)

OUT1(이벤트출력1연동)/OUT2(이벤트출력2연동)

SV(설정유량)/PV(순시유량)/TF(적산유량)

IF(모드설정)

그 외의 

입출력기능

이벤트입력

3×접점입력

알람출력

1×오픈커넥터출력Max35V:50mA

이벤트출력

2×오픈커넥터출력 Max35V:50mA

통신

RS485 반이중 9600bps

전원

정격

DC24V 소비전류300mA MAX

 

허용전원압

범위

DC21.6V~26.4V(리플5%이하)

설치방향

지정 없음

재질

SUS316, SUS316L, SUS430, FKM

PTFE클로로프렌고무(옵션)

계수

1/4F900、Rc1/4、1/4UJR(*5)

중량

일체형: 약1000g、

분리형(분리용 케이블 미포함): 약1200g(*6)

(*1)전폐상태로부터 제어유량 ±2%FS도착시간.  

(*2)표준압력(200kPa(G)), 표준온도(20℃)일 때

(*3)투과미포함, 장시간의 투과에 의한 Leak rate(참고치)는, 1×10-6Pam3/sec이하.

(*4)단위는 풀 스케일 유량에 의해 변합니다. 예: 1SLM의 경우는 최대 9999 9999 9.9999까지 적산 가능합니다.

(*5)그 외의 계수에 있어서는 문의 바랍니다.

(*6)접속계수에 의해, 약간의 변동이 있습니다.

(*7)MASS FLOW CONTROLLER 타입에 적용.

 

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 Lab gas system
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