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유량제어 (Flow Control)

D8500
표시기부착형 MFC
유량범위:50SCCM〜5SLM

특징

  • High lift actuator 에 의해 대유량을 작은 body로 실현
  • 표시설정기 탑재, DC24V 단일 전원만으로 동작 가능
  • RS232C/RS485 통신 기능, 적산 기능이 표준으로 장착
  • 14 BIT convertor 탑재에 의한 4 1/2자리수로 표시, 조작이 가능
  • 센서 발열부가 가스와 비접촉하기 때문에 가연성 가스의 유량 제어가 가능
  • 유량 설정에  5종류의 PATTERN 설정이 가능

 

 

 

표준사양

F.S.유량(N2환산)

50SCCM~5SLM

5SLM초~20SLM

지정가능가스(드라이가스)

N2, Air, O2, CO2, Ar, H2, He

센서방식

Thermal coil sensor

밸브방식(*7)

Proportional Solenoid Valve (N/C)

제어

제어/계측범위

2~100%F.S.

응답성

0→10%F.S.이상2초이내(*1)

0→10%F.S.미만4초이내(*1)

정도

유량정도

±1.0%F.S.(*2)

±1.5%F.S.(*2)

재현성

±0.75%F.S.

압력

내압

1000kPa(G)

작동가능압력

500kPa(G)이하

작동차압*7

50~300kPa(G)

100~300kPa(G)

온도

사용가능온도

5~45

온도특성

0.2%F.S./

습도

허용주위습도

1-~90%RH(결로 없음)

Leak

He Leak rate

1×10-8Pam3/sec이하(*3)

유량

설정방법

디지털

①설정표시기 통신

이벤트입력전환

아날로그*7

①0~5V ②4~20mA(임의 전환)

유량출력

아날로그

①0~5V ②4~20mA(상기와 연동)

표시기

표시방법

7세그먼트 LED 4자리

적산유량

12자리(*4)

설치방향

변경가능

일체/분리

일체형/분리형1m/분리형3m/분리형5m

상태표시

LED

OK(허용범위내)/ALM(알람출력연동)

OUT1(이벤트출력1연동)/OUT2(이벤트출력2연동)

SV(설정유량)/PV(순시유량)/TF(적산유량)

IF(모드설정)

그 외의 

입출력기능

이벤트입력

3×접점입력

알람출력

1×오픈커넥터출력Max35V:50mA

이벤트출력

2×오픈커넥터출력 Max35V:50mA

통신

RS485 반이중 9600bps

전원

정격

DC24V 소비전류300mA MAX

 

허용전원압

범위

DC21.6V~26.4V(리플5%이하)

설치방향

지정 없음

재질

SUS316, SUS316L, SUS430, FKM

PTFE클로로프렌고무(옵션)

계수

1/4F900、Rc1/4、1/4UJR(*5)

중량

일체형: 약1000g、

분리형(분리용 케이블 미포함): 약1200g(*6)

(*1)전폐상태로부터 제어유량 ±2%FS도착시간.  

(*2)표준압력(200kPa(G)), 표준온도(20℃)일 때

(*3)투과미포함, 장시간의 투과에 의한 Leak rate(참고치)는, 1×10-6Pam3/sec이하.

(*4)단위는 풀 스케일 유량에 의해 변합니다. 예: 1SLM의 경우는 최대 9999 9999 9.9999까지 적산 가능합니다.

(*5)그 외의 계수에 있어서는 문의 바랍니다.

(*6)접속계수에 의해, 약간의 변동이 있습니다.

(*7)MASS FLOW CONTROLLER 타입에 적용.

 

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침 (Advanced Metering Infrastructure) 압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 가스중앙공급시스템 (Central Gas Supply System) 가스발생 (Gas Generator) 특수사양 레귤레이터 (Special specification regulators)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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