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특징
표준사양
F.S.유량(N2환산) |
50SCCM~5SLM |
5SLM초~20SLM |
|
지정가능가스(드라이가스) |
N2, Air, O2,
CO2, Ar, H2, He등 |
||
센서방식 |
Thermal coil sensor |
||
밸브방식(*7) |
Proportional Solenoid Valve (N/C) |
||
제어 |
제어/계측범위 |
2~100%F.S. |
|
응답성 |
0→10%F.S.이상2초이내(*1) 0→10%F.S.미만4초이내(*1) |
||
정도 |
유량정도 |
±1.0%F.S.(*2) |
±1.5%F.S.(*2) |
재현성 |
±0.75%F.S. |
||
압력 |
내압 |
1000kPa(G) |
|
작동가능압력 |
500kPa(G)이하 |
||
작동차압*7 |
50~300kPa(G) |
100~300kPa(G) |
|
온도 |
사용가능온도 |
5~45℃ |
|
온도특성 |
0.2%F.S./ ℃ |
||
습도 |
허용주위습도 |
1-~90%RH(결로 없음) |
|
Leak |
He Leak rate |
1×10-8Pa・m3/sec이하(*3) |
|
유량 설정방법 |
디지털 |
①설정표시기 ②통신 ③이벤트입력전환 |
|
아날로그*7 |
①0~5V ②4~20mA(임의 전환) |
||
유량출력 |
아날로그 |
①0~5V ②4~20mA(상기와
연동) |
|
표시기 |
표시방법 |
7세그먼트 LED 4자리 |
|
적산유량 |
12자리(*4) |
||
설치방향 |
변경가능 |
||
일체/분리 |
일체형/분리형1m/분리형3m/분리형5m |
||
상태표시 LED |
OK(허용범위내)/ALM(알람출력연동) OUT1(이벤트출력1연동)/OUT2(이벤트출력2연동) SV(설정유량)/PV(순시유량)/TF(적산유량) IF(모드설정) |
||
그 외의 입출력기능 |
이벤트입력 |
3×접점입력 |
|
알람출력 |
1×오픈커넥터출력Max35V:50mA |
||
이벤트출력 |
2×오픈커넥터출력 Max35V:50mA |
||
통신 |
RS485 반이중 9600bps |
||
전원 |
정격 |
DC24V 소비전류300mA MAX |
|
|
허용전원압 범위 |
DC21.6V~26.4V(리플5%이하) |
|
설치방향 |
지정 없음 |
||
재질 |
SUS316, SUS316L, SUS430, FKM PTFE、클로로프렌고무(옵션) |
||
계수 |
1/4F900、Rc1/4、1/4UJR(*5) |
||
중량 |
일체형: 약1000g、 분리형(분리용 케이블 미포함): 약1200g(*6) |
(*1)전폐상태로부터 제어유량 ±2%FS도착시간.
(*2)표준압력(200kPa(G)), 표준온도(20℃)일 때
(*3)투과미포함, 장시간의 투과에 의한 Leak rate(참고치)는, 1×10-6Pa・m3/sec이하.
(*4)단위는 풀 스케일 유량에 의해 변합니다. 예: 1SLM의 경우는 최대 9999 9999 9.9999까지 적산 가능합니다.
(*5)그 외의 계수에 있어서는 문의 바랍니다.
(*6)접속계수에 의해, 약간의 변동이 있습니다.
(*7)MASS FLOW
CONTROLLER 타입에 적용.