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유량제어 (Flow Control)

DF-200
디지털 MFC
유량범위:10SCCM~10SLM
  • 높은 정확도(±1%), 빠른 반응속도(최대 1초)
  • 다양한 가스 및 범위 지원
  • 표준 특징: 통신 기능 설치(RS485)
  • RoHS/CE 표준 준수

 


  • Standard Specification

모델

DF-200C

(Multi range • Multi gas)

DF-250C

센서방식

열식코일센서

대상가스

(부식 성분 및 dust, mist 등이 포함되지 않은 깨끗한 건조 기체)

Multi gas(N2 (Air, H2, He, Ar, O2 CO2)(*1))

N2, Air, H2, He, Ar, O2 CO2등

(기재되지 않은 가스는 N2 환산 교정)

유량범위

Multi range(10/30/50/100/300/500SCCM, 1/3/5SLM(*1))

10SCM~10SLM

20~50SLM

(CO2교정의 경우는 20~30SLM)

제어범위

2~100% (FS)

응답성

전유량 제어범위 1초 이내(*3)

전유량 제어범위 1초 이내

정(확)도

±1.0%R.D(>35%F.S.)

±0.35%F.S(35%F.S.)(*4)

±1.0%F.S

재현성

±0.25%F.S.

동작차압

50300kPa(Ar、CO2:100300kPa)

100300kPa

(Ar、CO2:150300kPa)

입구 최대압

500kPa(G)

내압

980kPa(G)

외부 리크

1.0×10-8Pam3/sec(He)이하

사용온도

550℃

정도 보증 온도

1535℃

허용 보존 온도

-1060℃

허용동작습도

1090%RH(단, 결로 없는 것)

접가스부 재질

SUS316、SUS316L、자성 스테인레스、Ni、PTFE、PCTFE、불소고무

전기접속

Dsub9핀 male KFC Standard(SEMI standard준거 ), RJ-45모듈러 잭×2

유량설정신호

05VDC(입력 인피던스 1MΩ이하)

유량출력신호

05VDC (최소 부하저항 10kΩ이상)

디지털통신

RS485 로터리 스위치에 의한 어드레스 설정:최대99대

소요전원(DC)

+15V±5%:150mA

-15V±5%:150mA

+15V±5%:150mA

-15V±5%:250mA

접속 형태

1/4F900(표준), 1/4UJR, Rc1/4

그 외의 접속에 대해서는 별도로 문의 하시길 바랍니다.

설치 방향

수평방향 추천

중량

약600g

약1200g

사업분야
가스장비사업 원격검침용 스마트 계량기 사업 MAP 포장사업 글로벌 비즈니스
제품소개
원격검침 (Advanced Metering Infrastructure) 압력제어 (Pressure Control) 유량제어 (Flow Control) 가스혼합 (Gas Mixing) 가스분석 (Gas Analysis) 가스안전 (Gas Safety) 가스중앙공급시스템 (Central Gas Supply System) 가스발생 (Gas Generator) 특수사양 레귤레이터 (Special specification regulators)
MAP 포장
가스치환포장(MAP) MAP 시스템 개요 가스혼합기(Gas Mixer) 가스분석기(Gas Analyser) 누설검지기(Leak Detector) 적용분야 Q&A 자료실
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