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• 초 미세 유량 제어 가능
: 0.5~3ML/min의 초 미세 유량에서 3~30L/min의 유량까지 대응 가능
• 정밀 니들 밸브가 내장되어 있어 정밀한 유량제어가 가능
• 1L/min을 초과하지 않는 범위에서 물 유량 측정 및 제어도 가능
표준사양
|
가스 |
액체 |
유체 |
Air, N2, H2, He, Ar, CO2 |
표준 유체 : 물 |
유량범위 |
0.5-5 ML / MIN ~ 3-30 L / MIN * 옵션 : 0.5-3 ML / MIN |
0.5-5 ML / MIN ~ 0.1-1 L / MIN * 옵션 : 0.5-3 ML / MIN |
정확성 |
FS ±
2 % * 옵션 : FS ± 1 % |
FS ± 2 % |
내압 |
100 ML / MIN 이하 1.0 MPa 5 L / MIN 이하 0.7 MPa 이하 10 L / MIN 이상 0.5 MPa |
5 ML / MIN 이하 1.0 MPa 150 ML / MIN 이하 0.7 MPa 200 ML / MIN 이상 0.5 MPa |
유량 눈금 |
10 : 1 * 옵션 : 20 : 1 |
|
Materials |
SS |
BS |
Body
block |
SUS316 |
Brass |
Tapered
tube |
Pyrex®, glass |
|
Packing |
FKM |
NBR |
Float |
Pyrex, SUS316, glass |
|
Protective
cover |
Acrylic resin |
|
Temperature resistance |
MAX60℃ |
|
Connection
end |
Rc1/4 (Standard); Rc1/8 (Optional) |
제품 치수