유량제어 (Flow Control)

제품목록

  • 5400 시리즈

    저가격 메탈 씰 MFC
    유량범위:10SCCM~20SLM
  • 3810S

    저비용 유량 센서
    10SCCM~2SLM, 3SLM~50SLM
  • 3200 시리즈

    고성능 MFC, 미소유량컨트롤가능
    유량범위:1SCCM~20SLM
  • 5100 시리즈

    고품질 메탈 씰 MFC
    유량범위:1SCCM~20SLM
  • 8500 시리즈

    표시기부착형 MFC
    유량범위:10SCCM~20SLM
  • HFC-303

    높은 정확도의 대유량 MFC
    유량범위 : 100SLM ~ 1000SLM
  • HFM-301

    대유량 정밀 측정 MFM
    유량범위 : 100SLM ~ 1000SLM
  • 3810DSⅡ

    표시기 일체형 MFM (순간유량/적산유량)
    10SCCM~20SLM, 21~100SLM
  • D8500

    표시기부착형 MFC
    유량범위:50SCCM〜5SLM
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