유량제어 (Flow Control)

제품목록

  • 5400 시리즈

    저가격 메탈 씰 MFC
    유량범위:10SCCM~20SLM
  • 3810S

    저비용 유량 센서
    10SCCM~2SLM, 3SLM~50SLM
  • 3200 시리즈

    고성능 MFC, 미소유량컨트롤가능
    유량범위:1SCCM~20SLM
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